반도체 공정 부품업체 플라텍이 램리서치 특허가 유효라고 판단한 특허심판원 판단에 불복하고 특허법원에 지난 14일 심결취소소송을 제기했다.

쟁점 특허는 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허(등록번호 1708060)다. 전극 클램프는 반도체 식각 공정 챔버 내에서 상부 전극을 백킹 플레이트에 밀착·고정해 전기 연결과 열 전달을 돕는 소모성 부품이다. 

앞서 지난 4월 중순 특허심판원은 해당 특허에 대해 유효라고 판단(심결)했다. 플라텍이 지난 2024년 해당 특허를 상대로 무효심판을 청구하며 청구항(권리범위) 모두 무효라고 주장했지만 특허심판원은 받아들이지 않았다.

램리서치의 같은 특허를 상대로 또 다른 반도체 공정 부품업체 윌비에스엔티도 지난 2025년 무효심판을 청구했다. 해당 무효심판 판단은 아직 나오지 않았다.

플라텍은 램리서치가 제기한 특허침해소송에 대응하기 위해 무효심판을 청구했다. 플라텍은 지난 4월 감사보고서에서 램리서치가 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다고 밝혔다. 플라텍의 주요 고객사는 SK하이닉스다.

세계 식각장비 1위 램리서치는 플라텍처럼 SK하이닉스와 삼성전자 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 '애프터마켓' 업체를 상대로 특허침해소송을 제기하고 있다. 

플라텍 외에 비씨엔씨, 월덱스, SHM(옛 원세미콘), CMTX 등이 램리서치와 특허분쟁 중이다.

가장 최근에는 지난 4월 CMTX가 특허심판원에서 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2201934)를 침해하지 않았다는 판단을 받았다. 해당 특허에 대해 CMTX는 지난 1월 특허심판원에서 무효라는 판단도 받았다. 특허심판원의 무효 판단에 대해 램리서치는 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 

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CMTX는 램리서치의 또 다른 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2285582)에 대해서도 특허심판원에서 무효라는 판단과, 침해하지 않았다는 판단을 받았다. 이들 특허심판원 판단에 대해 램리서치는 불복하고 특허법원에 항소했다. 

앞서 램리서치는 CMTX를 상대로 특허침해소송을 제기했다. 램리서치는 반도체 장비에 적용하는 C-링 특허 2건을 CMTX가 침해했다고 주장했다. C-링은 식각 공정 장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 고객사는 삼성전자다.