반도체 공정용 고압수소어닐링(HPA) 장비와 관련해 예스티와 특허분쟁 중인 HPSP가 "특허침해소송에서 적극 대응하겠다"고 밝혔다. 지난 18일 특허법원이 심결취소소송 3건을 모두 기각했지만, 앞서 HPSP가 2023년 서울중앙지방법원에 예스티를 상대로 제기한 특허침해소송은 아직 판단이 나오지 않았다. 이번 분쟁 핵심은 이 특허침해소송이다. 

해당 소송에 사용한 쟁점 특허 1건에 대한 특허심판원의 무효심판과 소극적 권리범위확인심판 판단(심결)에 대한 특허법원 판단이 지난 18일 나온 것이고, 권리범위가 조정된 HPSP의 쟁점 특허를 예스티가 침해했는지 여부는 다시 따져봐야 하는 상황이다. 

김근영 HPSP 전무는 25일 수원에서 개최한 임시주주총회 후 '예스티 상대 특허분쟁 대책'을 묻는 질문에 "(지난 18일) 특허법원의 심결취소소송 3건 판결은 앞선 특허심판원 심결을 반복한 것에 불과하다"며 "쟁점 특허는 유효하다는 특허법원 판결이 나왔기 때문에 서울중앙지법 특허침해소송에서 본격 대응하겠다"고 밝혔다. 그는 "침해소송에 사용한 특허에 대한 무효심판 등이 진행되면서 서울중앙지법에서 그간 심리가 열리지 않았다"고 덧붙였다. 

쟁점 특허는 HPSP의 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치'(등록번호 1553027, 아래 '027 특허)다. 지난 18일 특허법원은 '027 특허가 유효하다는 판단과, 예스티가 '027 특허를 침해하지 않았다는 판결을 각각 내렸다. 앞서 특허심판원 심결과 같았다. 양측이 심결에 불복 후 청구한 심결취소소송 3건에 대해 특허법원이 모두 기각했다. 

특허심판원 분쟁 과정에서 HPSP는 정정심판을 청구해 '027 특허 권리범위를 좁혔다. 정정심판은 특허가 무효가 될 가능성이 있을 때 특허권자가 사용하는 절차다. 예스티는 정정심판 심결 후 불복 절차를 밟지 않았다. 

김근영 전무는 "정정심판 후 ('027 특허의) 권리범위가 크게 좁혀지진 않았다"며 "권리범위가 오히려 명확해졌다"고 말했다. 

특허심판원에서 시작한 무효심판과 소극적 권리범위확인심판, 그리고 이에 대한 특허법원 심결취소소송에선 예스티가 우위를 점했는데, HPSP는 특허침해소송에선 다를 수 있다고 말한 셈이다. 지난주 특허법원 판결과, 서울중앙지법 판단은 다를 수 있다.   

예스티는 HPSP가 첫 번째 특허침해소송을 제기할 때 사용한 '027 특허 외에, HPSP의 또 다른 특허 5건을 상대로도 특허심판원에 무효심판과 소극적 권리범위확인심판 등을 청구했다. 

예스티는 지난달 하순 특허심판원에서 HPSP의 또 다른 특허 '고압가스 열처리를 위한 방법 및 장치'(등록번호 0766303)에 대해 무효라는 심결을 받았다. HPSP는 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 이 특허는 HPSP가 예스티를 상대로 두 번째 특허침해소송을 제기하며 사용한 특허다. 나머지 특허 4건에 대한 분쟁은 모두 끝났다.

관련기사

두 업체는 고압수소어닐링 장비 시장을 놓고 특허분쟁 중이다. 고압수소어닐링 장비는 반도체의 실리콘 산화물(SiO) 표면 결함을 고압수소·중수소로 치환해 특성을 개선할 때 사용한다. HPSP가 과거엔 이 시장을 독점했지만, 예스티가 지난해 말부터 시장에 진입했다. 지난 3월 예스티는 고압수소어닐링 장비 첫 출하식을 열었다.

임시주총에서 이케빈기두 사내이사 선임 안건은 가결됐다. 이케빈가두 사내이사는 인텔 엔지니어 출신으로 현재 크레센도에쿼티파트너스 대표를 맡고 있다.