原因

子进程的stdout及stderr需要被设置为某个文件，根据文档 setupMaster 说明，需要设置stdio数组：

c.setupMaster({
        exec: `${cwd}/c.js`,
        stdio: [0, 1, 2, 'ipc']
})

其中，stdio中的项可以为数组。

小问题

master.js

let c = require('cluster');
let fs = require('fs');
let path = require('path');
let cwd = process.cwd();

let o = fs.createWriteStream(path.join(cwd, 'out.log'));
c.setupMaster({
        exec: `${cwd}/c.js`,
        stdio: [0, o, o, 'ipc']
})
    
c.fork();

c.js

console.log(13324)
console.error('error')

如果直接这样使用，则会抛错

throw new errors.TypeError('ERR_INVALID_OPT_VALUE', 'stdio',
      ^
TypeError [ERR_INVALID_OPT_VALUE]: The value "WriteStream"

原因是stdio中的stream对象还未准备好，因此需要提前创建流。
如下:

let c = require('cluster');
let fs = require('fs');
let path = require('path');
let cwd = process.cwd();

let o = fs.createWriteStream(path.join(cwd, 'out.log'));

setTimeout(() => {
    c.setupMaster({
        exec: `${cwd}/c.js`,
        stdio: [0, o, o, 'ipc']
    })
    
    c.fork();
},10)