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ASML im „Krisenmodus“: EUV-Lithografie-System laut Washington nach China gelangt
Martin Holland · 2026-06-19 · via heise online News

Die US-Regierung hat ASML mitgeteilt, dass man in Washington Hinweise hat, dass eines der hochentwickeltsten Lithografie-Systeme des niederländischen Herstellers nach China geschafft wurde. Das berichtet Bloomberg unter Berufung auf anonyme Quellen. Sollte sich der von US-Handelsminister Howard Lutnick vorgebrachte Vorwurf bestätigen, würde es sich um einen der schwerwiegendsten bekannten Verstöße gegen US-Sanktionen handeln, fasst die Finanznachrichtenagentur zusammen. ASML habe den Verdacht energisch zurückgewiesen, weltweit seien genau 314 EUV-Systeme im Einsatz, keins davon in China. Die Systeme könnten nicht ohne ASML-Beteiligung betrieben oder bewegt werden. Laut Bloomberg wirft die US-Regierung ASML vor, sie böswillig zu täuschen.

Bei dem angeblich nach China gebrachten Gerät soll es sich um eines jener Lithografie-Systeme zur Herstellung von Halbleitern handeln, die extrem-ultraviolette (EUV-)Belichtung verwenden. ASML ist weltweit die einzige Firma, die diese Maschinen herstellen kann und deshalb zum wertvollsten Konzern Europas geworden. Wegen Exportbeschränkungen darf ASML die tonnenschweren Geräte nicht nach China verkaufen. Nachdem Lutnick den Vorwurf im April erhoben hat, hat ASML laut Bloomberg in Washington ein Dokument verbreitet, in dem unter anderem erklärt wird, warum man über den Verbleib jedes Systems Bescheid wisse. Demnach könne man „jede Unterbrechung, jedes unnormale Verhalten und jeden Verbindungsverlust“ registrieren. Kein System befinde sich in China.

Seit die Vorwürfe erhoben wurden, befindet sich ASML intern im „Krisenmodus“, schreibt Bloomberg noch. Der Hersteller müsse nun beweisen, dass etwas nicht der Fall sei und es sei unklar, mit welcher Art an Information sich die US-Regierung zufriedengeben würde. Ob Washington Beweise für die Behauptung hat und wie die aussehen, ist demnach ebenfalls unbekannt. Was genau die US-Regierung von ASML will, hat Bloomberg ebenfalls nicht in Erfahrung bringen können. „Sollte es ASML weiterhin nicht gelingen, die Bedenken Washingtons auszuräumen, könnte dies auch die ohnehin angespannten Beziehungen zwischen den USA und der Europäischen Union weiter belasten“, schreibt Bloomberg noch.

Bei ASML führe man regelmäßig einen transparenten und offenen Dialog mit Regierungsvertretern, zitiert Bloomberg einen Unternehmenssprecher: „Wir erkennen die Erwägungen zur nationalen Sicherheit an, die den Exportkontrollvorschriften in den USA und den Niederlanden zugrunde liegen, und verpflichten uns uneingeschränkt zur Einhaltung aller geltenden Vorschriften.“ Weiter habe er aber auch erklärt, dass man bei ASML schon „mehrere unbegründete Gerüchte über Verstöße gegen Exportkontrollen in Bezug auf China widerlegt hat, die unrichtig waren und unserem Ruf geschadet haben“. Von der niederländischen Regierung hieß es demnach noch, dass man die eigene Verantwortung angesichts der „einzigartigen Rolle in der Halbleiterindustrie“ ernst nehme.

(mho)